FFU净化单元的说明及特点

2019-08-20 14:32:28 132

FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一
该机组设计整体灵活,便于与专用型吊顶骨架以及其他一些合适的骨架配合使用。当过滤器采用刀边型框架时,这种机组也可用于液槽密封吊顶骨架,根据设计的规格,他可轻而易举配合任何吊顶骨架,达到洁净等级要求。外框可选用铝质或不锈钢,各具特色。采用这种机组,可以为洁净室输送高质量的空气,而且空气流通好。它适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其他对空气中污染有严格控制要求的地方。
一般万级无尘室所用的高效过滤器,它能对空气中粒径为0.3um的微粒子过滤效率达到99.99%,出风风速0.4m/s,最大不能有超过20KG以上的外力作用于过滤器上,以免破坏过滤器组织架构。

FFU的特点:

:灵活性。
因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。
从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。
这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。
使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。
虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。
 
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